Shape deviations in masks for optical structures produced by electron beam lithography
Last, A.
1; Hein, H. 1; Mohr, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Hein, H. 1; Mohr, J. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110054889 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (POF I, LK 01) Metallische Mikrostrukturapparate |
| Erschienen in | Microsystems Technologies |
| Band | 10 |
| Seiten | 527-30 |
| Erscheinungsvermerk | 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |