Evaluation of optical qualities of a LIGA-spectrometer in SU-8
Mappes, T. 1; Achenbach, S. 1; Last, A.
1; Mohr, J. 1; Truckenmüller, R. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Mohr, J. 1; Truckenmüller, R. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110054976 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (POF I, LK 02) NEUART.KOMPON.U.SYST.F.SYNCHROTRONSTR. |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 10 |
| Seiten | 560-63 |
| Erscheinungsvermerk | 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |