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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0403-6
Web of Science
Zitationen: 4

Evaluation of optical qualities of a LIGA-spectrometer in SU-8

Mappes, T.; Achenbach, S.; Last, A.; Mohr, J.; Truckenmüller, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054976
HGF-Programm 51.04.04 (POF I, LK 02)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 560-63
Erscheinungsvermerk 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
Nachgewiesen in Web of Science
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