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Evaluation of optical qualities of a LIGA-spectrometer in SU-8

Mappes, T. 1; Achenbach, S. 1; Last, A. 1; Mohr, J. 1; Truckenmüller, R. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0403-6
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Zitationen: 7
Web of Science
Zitationen: 5
Dimensions
Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054976
HGF-Programm 51.04.04 (POF I, LK 02) NEUART.KOMPON.U.SYST.F.SYNCHROTRONSTR.
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 560-63
Erscheinungsvermerk 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
Nachgewiesen in Dimensions
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