Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110055164 |
HGF-Programm | 41.09.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Band | 13 |
Seiten | S85-S90 |
Erscheinungsvermerk | Papers from the 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |