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Dosing system for the nanolitre range, fabricated with the AMANDA process

Shao, P. 1; Rummler, Z. 1; Schomburg, W. K. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/13/4/314
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Zitationen: 6
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Zitationen: 8
Dimensions
Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110055164
HGF-Programm 41.09.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 13
Seiten S85-S90
Erscheinungsvermerk Papers from the 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002
Nachgewiesen in Dimensions
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