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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/13/4/314

Dosing system for the nanolitre range, fabricated with the AMANDA process

Shao, P.; Rummler, Z.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110055164
HGF-Programm 41.09.01; LK 01
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 13
Seiten S85-S90
Erscheinungsvermerk Papers from the 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002
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