KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Magnetically driven micro ball valves fabricated by multilayer adhesive film bonding

Fu, C.; Rummler, Z.; Schomburg, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110055165
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 13
Seiten S96-S102
Erscheinungsvermerk Papers from the 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page