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Magnetically driven micro ball valves fabricated by multilayer adhesive film bonding

Fu, C.; Rummler, Z.; Schomburg, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110055165
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 13
Seiten S96-S102
Erscheinungsvermerk Papers from the 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002
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