Influence of low energy ion implantation on mechanical properties of magnetron sputtered metastable (Cr,Al)N thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0040-6090, 1879-2731 KITopen-ID: 110055437 |
| HGF-Programm | 42.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Thin solid films |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 437 |
| Heft | 1-2 |
| Seiten | 164-169 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |