Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110055816 |
HGF-Programm | 41.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 9 |
Seiten | 465-69 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |