| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für wissenschaftliches Rechnen (IWR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110056121 |
| HGF-Programm | 46.00.00 (POF I, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 22 |
| Seiten | 1433 |
| Erscheinungsvermerk | 50th Internat.Symp.of the American Vacuum Society (AVS), Baltimore, Md., November 3-7, 2003, --38 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus OpenAlex Dimensions |