Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für wissenschaftliches Rechnen (IWR) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110056121 |
HGF-Programm | 46.00.00 (POF I, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
Band | 22 |
Seiten | 1433 |
Erscheinungsvermerk | 50th Internat.Symp.of the American Vacuum Society (AVS), Baltimore, Md., November 3-7, 2003, --38 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |