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Constitution, microstructure, mechanical properties, and performance of magnetron-sputtered carbon films with additions of silicon

Bauer, C.; Leiste, H.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1002/mawe.200300679
KITopen ID: 110056143
HGF-Programm 42.02.02; LK 01
Erschienen in Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
Band 34
Seiten 912-18
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