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Thick capacitive meshes on polyimide substrates

Lüker, A.; Sternberg, O.; Hein, H. 1; Schulz, J. 1; Möller, K. D.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.infrared.2003.09.005
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Zitationen: 4
Dimensions
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110056752
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erschienen in Infrared Physics and Technology
Band 45
Seiten 153-57
Nachgewiesen in Dimensions
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