KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Thick capacitive meshes on polyimide substrates

Lüker, A.; Sternberg, O.; Hein, H. 1; Schulz, J. ORCID iD icon 1; Möller, K. D.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.infrared.2003.09.005
Scopus
Zitationen: 4
Web of Science
Zitationen: 4
Dimensions
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110056752
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erschienen in Infrared Physics and Technology
Band 45
Seiten 153-57
Nachgewiesen in Web of Science
Scopus
Dimensions
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page