Thick capacitive meshes on polyimide substrates
Lüker, A.; Sternberg, O.; Hein, H. 1; Schulz, J.
1; Möller, K. D.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Möller, K. D.1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110056752 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erschienen in | Infrared Physics and Technology |
| Band | 45 |
| Seiten | 153-57 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |