Applications of LIGA technology to precision manufacturing of high-aspect-ratio micro-components and -systems: a review
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110056806 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erschienen in | Microelectronics Journal |
| Band | 35 |
| Seiten | 131-43 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |