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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.mejo.2003.10.003
Web of Science
Zitationen: 141

Applications of LIGA technology to precision manufacturing of high-aspect-ratio micro-components and -systems: a review

Malek, C.K.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110056806
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microelectronics Journal
Band 35
Seiten 131-43
Nachgewiesen in Web of Science
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