Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110057481 |
HGF-Programm | 41.03.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.f.Mikrostrukturapp. |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 10 |
Seiten | 261-64 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |