| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110057481 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.f.Mikrostrukturapp. |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 10 |
| Seiten | 261-64 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions OpenAlex |