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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/sia.1674
Web of Science
Zitationen: 13

Surface smoothing of single-crystal diamond by high-speed cluster impacts with and without reactive erosion

Krämer, R.; Yamaguchi, Y.; Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110057506
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01)
Erschienen in Surface and Interface Analysis
Band 36
Seiten 148-54
Erscheinungsvermerk German-Chinese Workshop on Fundamentals and Applications of Nanoscience: Building Blocks, Modelling and Structuring, Karlsruhe, July 1-4, 2002
Nachgewiesen in Web of Science
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