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Surface smoothing of single-crystal diamond by high-speed cluster impacts with and without reactive erosion

Krämer, R. 1; Yamaguchi, Y. 1; Gspann, J. 1
1 Universität Karlsruhe (TH)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/sia.1674
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Zitationen: 10
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Zitationen: 13
Dimensions
Zitationen: 12
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110057506
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erschienen in Surface and Interface Analysis
Band 36
Seiten 148-54
Erscheinungsvermerk German-Chinese Workshop on Fundamentals and Applications of Nanoscience: Building Blocks, Modelling and Structuring, Karlsruhe, July 1-4, 2002
Nachgewiesen in Dimensions
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