Surface smoothing of single-crystal diamond by high-speed cluster impacts with and without reactive erosion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110057506 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erschienen in | Surface and Interface Analysis |
| Band | 36 |
| Seiten | 148-54 |
| Erscheinungsvermerk | German-Chinese Workshop on Fundamentals and Applications of Nanoscience: Building Blocks, Modelling and Structuring, Karlsruhe, July 1-4, 2002 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |