Polymer micro piezo valve with a small dead volume
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110057511 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (POF I, LK 01) Membrantechnologie |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 14 |
| Seiten | 305-9 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |