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Polymer micro piezo valve with a small dead volume

Shao, P.; Rummler, Z.; Schomburg, W.K.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/14/2/020
Scopus
Zitationen: 27
Web of Science
Zitationen: 24
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110057511
HGF-Programm 41.01.05 (POF I, LK 01)
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 14
Seiten 305-9
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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