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Kinoform X-ray lens creation in polymer materials by deep X-ray lithography

Nazmov, V. 1; Shabelnikov, L.; Pantenburg, F. J. 1; Mohr, J. 1; Reznikova, E. 1; Snigirev, A.; Snigireva, I.; Kouznetsov, S.; Dimichiel, M.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.nimb.2003.11.002
Scopus
Zitationen: 48
Web of Science
Zitationen: 45
Dimensions
Zitationen: 38
BibTeX (UTF-8) BibTeX (ASCII) EndNote/Refer (.enw) RIS CSL-JSON ISI
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110057708
HGF-Programm 51.04.04 (POF I, LK 01)
Erschienen in Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
Band 217
Seiten 409-16
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
Scopus
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