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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.nimb.2003.11.002
Web of Science
Zitationen: 42

Kinoform X-ray lens creation in polymer materials by deep X-ray lithography

Nazmov, V.; Shabelnikov, L.; Pantenburg, F.J.; Mohr, J.; Reznikova, E.; Snigirev, A.; Snigireva, I.; Kouznetsov, S.; Dimichiel, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110057708
HGF-Programm 51.04.04 (POF I, LK 01)
Erschienen in Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
Band 217
Seiten 409-16
Nachgewiesen in Web of Science
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