Kinoform X-ray lens creation in polymer materials by deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110057708 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (POF I, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B |
| Band | 217 |
| Seiten | 409-16 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |