Nitrogen self-diffusion in silicon nitride thin films probed with isotope heterostructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110058388 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren |
| Erschienen in | Applied Physics Letters |
| Band | 85 |
| Seiten | 582-84 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |