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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.1769594
Web of Science
Zitationen: 13

Nitrogen self-diffusion in silicon nitride thin films probed with isotope heterostructures

Schmidt, H.; Borchardt, G.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110058388
HGF-Programm 41.05.01 (POF I, LK 01)
Erschienen in Applied Physics Letters
Band 85
Seiten 582-84
Nachgewiesen in Web of Science
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