Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110058468 |
HGF-Programm | 41.01.05 (POF I, LK 01) Membrantechnologie |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Band | 14 |
Seiten | 1101-08 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |