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Design, characterisation and operation of an inverted cylindrical magnetron for metal deposition

Amberg, M.; Geerk, J.; Keller, M.; Fischer, A.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1080/1051999042000237988
Scopus
Zitationen: 19
Web of Science
Zitationen: 18
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110059275
HGF-Programm 52.01.01 (POF I, LK 01)
Elektr.Eigenschaften.Magnetismus u.SL
Erschienen in Plasma Devices and Operations
Band 12
Seiten 175-86
Nachgewiesen in Web of Science
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