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Design, characterisation and operation of an inverted cylindrical magnetron for metal deposition

Amberg, M.; Geerk, J.; Keller, M.; Fischer, A.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1080/1051999042000237988
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Zitationen: 17
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seit 01.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110059275
HGF-Programm 52.01.01 (POF I, LK 01)
Erschienen in Plasma Devices and Operations
Band 12
Seiten 175-86
Nachgewiesen in Scopus
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