Design, characterisation and operation of an inverted cylindrical magnetron for metal deposition
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110059275 |
| HGF-Programm | 52.01.01 (POF I, LK 01) Elektr.Eigenschaften.Magnetismus u.SL |
| Erschienen in | Plasma Devices and Operations |
| Band | 12 |
| Seiten | 175-86 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |