Structure quality of high aspect ratio sub-micron polymer structures patterned at the electron storage ring ANKA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754 KITopen-ID: 110060179 |
| HGF-Programm | 55.01.01 (POF I, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 22 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 3196-3201 |
| Erscheinungsvermerk | (2004) |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |