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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.1824910
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Zitationen: 9
Web of Science
Zitationen: 10

Structure quality of high aspect ratio sub-micron polymer structures patterned at the electron storage ring ANKA

Achenbach, S.; Mappes, T.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754
KITopen-ID: 110060179
HGF-Programm 55.01.01 (POF I, LK 01)
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / B
Band 22
Heft 6
Seiten 3196-3201
Erscheinungsvermerk (2004)
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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