Incorporating design rules into the LIGA technology applied to a fourier transformation spectrometer
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 12.2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110060186 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (POF I, LK 01) Telekommunikation |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 10 |
| Heft | 10 |
| Seiten | 706-710 |
| Erscheinungsvermerk | (2004) |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |