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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0406-3

Incorporating design rules into the LIGA technology applied to a fourier transformation spectrometer

Solf, C.; Janssen, A.; Mohr, J.; Ruzzu, A.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110060186
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 706-10
Erscheinungsvermerk (2004)
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