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Fabrication and preliminary testing of X-ray lenses in thick SU-8 resist layers

Nazmov, V. 1; Reznikova, E. 1; Mohr, J. 1; Snigirev, A.; Snigireva, I.; Achenbach, S. 1; Saile, V. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0433-0
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Zitationen: 44
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Zitationen: 41
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 12.2004
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110060187
HGF-Programm 51.04.04 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem technologies
Verlag Springer
Band 10
Heft 10
Seiten 716-721
Erscheinungsvermerk (2004)
Nachgewiesen in Scopus
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Web of Science
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