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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0433-0

Fabrication and preliminary testing of X-ray lenses in thick SU-8 resist layers

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Mohr, J.; Snigirev, A.; Snigireva, I.; Achenbach, S.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110060187
HGF-Programm 51.04.04; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 716-21
Erscheinungsvermerk (2004)
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