Fabrication and preliminary testing of X-ray lenses in thick SU-8 resist layers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 12.2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110060187 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (POF I, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 10 |
| Heft | 10 |
| Seiten | 716-721 |
| Erscheinungsvermerk | (2004) |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |