Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 12.2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110060188 |
HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 10 |
Heft | 10 |
Seiten | 722-727 |
Erscheinungsvermerk | (2004) |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |