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Preliminary results of fracture mechanics analysis on the quality of LIGA sidewalls

Guimaraes, M. S.; Meyer, P. 1; Hahn, L. 1; Schulz, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0434-z
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 12.2004
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110060188
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erschienen in Microsystem technologies
Verlag Springer
Band 10
Heft 10
Seiten 722-727
Erscheinungsvermerk (2004)
Nachgewiesen in Dimensions
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