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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0434-z

Preliminary results of fracture mechanics analysis on the quality of LIGA sidewalls

Guimaraes, M.S.; Meyer, P.; Hahn, L.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110060188
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 722-27
Erscheinungsvermerk (2004)
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