Preliminary results of fracture mechanics analysis on the quality of LIGA sidewalls
Guimaraes, M. S.; Meyer, P.
1; Hahn, L. 1; Schulz, J.
1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Hahn, L. 1; Schulz, J.
11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 12.2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110060188 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 10 |
| Heft | 10 |
| Seiten | 722-727 |
| Erscheinungsvermerk | (2004) |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science OpenAlex Dimensions |