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Photonic integrated circuits by DUV-induced modification of polymers

Rabus, D. G. 1; Henzi, P. 1; Mohr, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/LPT.2004.840922
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Zitationen: 48
Web of Science
Zitationen: 39
Dimensions
Zitationen: 29
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110060577
HGF-Programm 41.04.03 (POF I, LK 01) Modellierung und Zuverlässigkeit
Erschienen in IEEE Photonics Technology Letters
Band 17
Seiten 591-93
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
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