Photonic integrated circuits by DUV-induced modification of polymers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110060577 |
| HGF-Programm | 41.04.03 (POF I, LK 01) Modellierung und Zuverlässigkeit |
| Erschienen in | IEEE Photonics Technology Letters |
| Band | 17 |
| Seiten | 591-93 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |