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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/LPT.2004.840922

Photonic integrated circuits by DUV-induced modification of polymers

Rabus, D.G.; Henzi, P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110060577
HGF-Programm 41.04.03; LK 01
Erschienen in IEEE Photonics Technology Letters
Band 17
Seiten 591-93
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