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Fabrication of ceramic microcomponents using deep X-ray lithography

Müller, C.; Hanemann, T. 1; Wiche, G.; Kumar, C.; Goettert, J.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0407-2
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Zitationen: 13
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Zitationen: 10
Dimensions
Zitationen: 13
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110060804
HGF-Programm 41.02.01 (POF I, LK 01) Pulvermetallurgie und Keramik
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 11
Seiten 271-77
Nachgewiesen in Scopus
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