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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0407-2

Fabrication of ceramic microcomponents using deep X-ray lithography

Müller, C.; Hanemann, T.; Wiche, G.; Kumar, C.; Goettert, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110060804
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 11
Seiten 271-77
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