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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2004.11.117

Characterisation of the interface region in stepwise bias-graded layers of DLC films by a high-resolution depth profiling method

Ziebert, C.; Bauer, C.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110060913
HGF-Programm 42.02.02; LK 01
Erschienen in Thin Solid Films
Band 482
Seiten 63-68
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