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Characterisation of the interface region in stepwise bias-graded layers of DLC films by a high-resolution depth profiling method

Ziebert, C. 1; Bauer, C. 1; Stüber, M. 1; Ulrich, S. 1; Holleck, H. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2004.11.117
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Zitationen: 24
Web of Science
Zitationen: 21
Dimensions
Zitationen: 22
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110060913
HGF-Programm 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen
Erschienen in Thin Solid Films
Band 482
Seiten 63-68
Nachgewiesen in Web of Science
Scopus
Dimensions
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