Characterisation of the interface region in stepwise bias-graded layers of DLC films by a high-resolution depth profiling method
Ziebert, C.
1; Bauer, C. 1; Stüber, M. 1; Ulrich, S. 1; Holleck, H. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Bauer, C. 1; Stüber, M. 1; Ulrich, S. 1; Holleck, H. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110060913 |
| HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
| Erschienen in | Thin Solid Films |
| Band | 482 |
| Seiten | 63-68 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |