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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00-004-0408-1

Fabrication of diamond micro tools for ultra precision machining

Ritzhaupt-Kleissl, E.; Müller, C.; Sossalla, A.; Ertl, S.; Gluche, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110060921
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 11
Seiten 278-79
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