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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0368-5

MODULIGA: The LIGA process as a modular production method-current standardization status in Germany

Hahn, L.; Meyer, P.; Bade, K.; Hein, H.; Schulz, J.; Löchel, B.; Scheunemann, H.U.; Schondelmaier, D.; Singleton, L.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110061126
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 11
Seiten 240-45
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