MODULIGA: The LIGA process as a modular production method-current standardization status in Germany
Hahn, L. 1; Meyer, P. 1; Bade, K.
1; Hein, H. 1; Schulz, J.
1; Löchel, B.; Scheunemann, H. U.; Schondelmaier, D.; Singleton, L.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Hein, H. 1; Schulz, J.
1; Löchel, B.; Scheunemann, H. U.; Schondelmaier, D.; Singleton, L.1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110061126 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 11 |
| Seiten | 240-45 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |