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MODULIGA: The LIGA process as a modular production method-current standardization status in Germany

Hahn, L. 1; Meyer, P. 1; Bade, K. 1; Hein, H. 1; Schulz, J. 1; Löchel, B.; Scheunemann, H. U.; Schondelmaier, D.; Singleton, L.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0368-5
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Zitationen: 3
Dimensions
Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110061126
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 11
Seiten 240-45
Nachgewiesen in Dimensions
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