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LIGA fabrication of X-ray Nickel lenses

Nazmov, V. 1; Reznikova, E. 1; Snigirev, A.; Snigireva, I.; DiMichiel, M.; Grigoriev, M.; Mohr, J. 1; Matthis, B. 1; Saile, V. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0435-y
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Zitationen: 27
Web of Science
Zitationen: 22
Dimensions
Zitationen: 25
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110061132
HGF-Programm 51.04.04 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 11
Seiten 292-97
Nachgewiesen in Web of Science
Dimensions
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