| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110061132 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (POF I, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 11 |
| Seiten | 292-97 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |