Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110061132 |
HGF-Programm | 51.04.04 (POF I, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 11 |
Seiten | 292-97 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |