MD study on high-energy reactive carbon and oxygen cluster impact leading to surface erosion on diamond
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110061214 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B |
| Band | 228 |
| Seiten | 309-14 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |