KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

MD study on high-energy reactive carbon and oxygen cluster impact leading to surface erosion on diamond

Yamaguchi, Y.; Gspann, J.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.nimb.2004.10.062
Scopus
Zitationen: 11
Web of Science
Zitationen: 12
Dimensions
Zitationen: 12
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110061214
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erschienen in Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
Band 228
Seiten 309-14
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page