| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110061228 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (POF I, LK 01) Sensorik |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods A |
| Band | 543 |
| Seiten | 326-32 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex Web of Science |