Development of an ion-to-electron converter
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110061537 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
| Band | 76 |
| Seiten | 064502/1-4 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |