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Development of an ion-to-electron converter

Rachev, M.; Srama, R.; Fettig, R.; Köhler, U.; Maas, D.; Grün, E.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.1935448
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110061537
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erschienen in Review of Scientific Instruments
Band 76
Seiten 064502/1-4
Nachgewiesen in Dimensions
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