Tailored stoichiometries of silicon carbonitride thin films prepared by combined radio frequency magnetron sputtering and ion beam synthesis
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110061589 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 23 |
| Seiten | 1114-19 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |