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Tailored stoichiometries of silicon carbonitride thin films prepared by combined radio frequency magnetron sputtering and ion beam synthesis

Bruns, M.; Geckle, U.; Trouillet, V.; Rudolphi, M.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110061589
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 23
Seiten 1114-19
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