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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.1946713
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Zitationen: 8
Web of Science
Zitationen: 7

Tailored stoichiometries of silicon carbonitride thin films prepared by combined radio frequency magnetron sputtering and ion beam synthesis

Bruns, M.; Geckle, U.; Trouillet, V.; Rudolphi, M.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110061589
HGF-Programm 41.05.01 (POF I, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 23
Seiten 1114-19
Nachgewiesen in Web of Science
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