Nitrogen self-diffusion in polycrystalline Si₃N₄ films: Isotope heterostructures vs. gas-exchange

Schmidt, H.; Borchardt, G.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.; Weber, S.; Scherrer, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2005
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 110061670
HGF-Programm	41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren
Erschienen in	Deffect and Diffusion Forum
Band	237-40
Seiten	512-17