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Nitrogen self-diffusion in polycrystalline Si₃N₄ films: Isotope heterostructures vs. gas-exchange

Schmidt, H.; Borchardt, G.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.; Weber, S.; Scherrer, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110061670
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erschienen in Deffect and Diffusion Forum
Band 237-40
Seiten 512-17
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