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Nitrogen self-diffusion in polycrystalline Si₃N₄ films: Isotope heterostructures vs. gas-exchange

Schmidt, H.; Borchardt, G.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.; Weber, S.; Scherrer, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110061670
HGF-Programm 41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren
Erschienen in Deffect and Diffusion Forum
Band 237-40
Seiten 512-17
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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