Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110061974 |
HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
Erschienen in | European Physical Journal D |
Band | 34 |
Seiten | 247-49 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |