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Micro structured ceramics by lithographic methods

Schulz, M.; Heldele, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110062201
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erschienen in Ceramic Forum International - Berichte der Deutschen Keramischen Gesellschaft
Band 82
Heft 10
Seiten D1-D5
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