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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-005-0012-z

Large-scale hot embossing

Worgull, M.; Heckele, M.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110063422
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 12
Seiten 110-15
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