Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110063674 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 12 |
Seiten | 258-66 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |