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Hard multilayer coatings containing TiN and/or ZrN: A review and recent progress in their nanoscale characterization

Ziebert, C.; Ulrich, S.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.2194031
Scopus
Zitationen: 77
Web of Science
Zitationen: 68
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110064482
HGF-Programm 43.03.03 (POF I, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 24
Seiten 554-83
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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