Hard multilayer coatings containing TiN and/or ZrN: A review and recent progress in their nanoscale characterization
Ziebert, C.
1; Ulrich, S. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Ulrich, S. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110064482 |
| HGF-Programm | 43.03.03 (POF I, LK 01) Grenzflächenabhängige Eigenschaften |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 24 |
| Seiten | 554-83 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |