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Hard multilayer coatings containing TiN and/or ZrN: A review and recent progress in their nanoscale characterization

Ziebert, C. 1; Ulrich, S. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.2194031
Scopus
Zitationen: 86
Web of Science
Zitationen: 77
Dimensions
Zitationen: 79
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110064482
HGF-Programm 43.03.03 (POF I, LK 01) Grenzflächenabhängige Eigenschaften
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 24
Seiten 554-83
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
Web of Science
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