| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110064554 |
| HGF-Programm | 43.04.01 (POF I, LK 01) |
| Erschienen in | Japanese Journal of Applied Physics |
| Band | 45 |
| Heft | 4A |
| Seiten | 2572-75 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex Web of Science |