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Material investigation of alicyclic methacrylate copolymer for polymer waveguide fabrication

Ichihashi, Y. 1; Henzi, P. 1; Bruendel, M. 1; Rabus, D. G. 1; Mohr, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1143/JJAP.45.2572
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Zitationen: 13
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Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110064554
HGF-Programm 43.04.01 (POF I, LK 01)
Erschienen in Japanese Journal of Applied Physics
Band 45
Heft 4A
Seiten 2572-75
Nachgewiesen in Web of Science
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