Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Jahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen ID: 110064554 |
HGF-Programm | 43.04.01; LK 01 |
Erschienen in | Japanese Journal of Applied Physics |
Band | 45 |
Heft | 4A |
Seiten | 2572-75 |