Electroplating of micro-patterned tools via replication of silicone rubber forms
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110065023 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 12 |
| Seiten | 870-76 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |