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Electroplating of micro-patterned tools via replication of silicone rubber forms

Lorenz, J. 1; Schanz, G. 1; Holstein, N. 1; Konys, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-006-0132-0
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Zitationen: 3
Web of Science
Zitationen: 3
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Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110065023
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 12
Seiten 870-76
Nachgewiesen in Web of Science
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