Modification of polymethylmethacrylate by deep ultraviolet radiation and bromination for photonic applications
Henzi, P. 1; Bade, K.
1; Rabus, D. G.; Mohr, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Rabus, D. G.; Mohr, J. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110065483 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| Band | 24 |
| Seiten | 1755-61 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |