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Modification of polymethylmethacrylate by deep ultraviolet radiation and bromination for photonic applications

Henzi, P.; Bade, K.; Rabus, D.G.; Mohr, J.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.2209997
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Zitationen: 29
Web of Science
Zitationen: 27
Dimensions
Zitationen: 22
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110065483
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology B
Band 24
Seiten 1755-61
Nachgewiesen in Dimensions
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