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An ultrasonic welding based process for building up a new class of inert fluidic microsensors and -actuators from polymers

Truckenmüller, R.; Ahrens, R.; Cheng, Y.; Fischer, G.; Saile, V.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.sna.2006.04.040
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Zitationen: 61
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Zitationen: 49
Dimensions
Zitationen: 53
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110065928
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 132
Seiten 385-92
Nachgewiesen in Dimensions
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