Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110065968 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 12 |
Seiten | 947-52 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |