Modeling and optimization of the hot embossing process for micro- and nanocomponent fabrication
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110065968 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 12 |
| Seiten | 947-52 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |