Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110066146 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 13 |
Seiten | 117-25 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |