Influence of exposure spectra on optical properties of alicyclic methacrylate copolymer waveguides fabricated by deep UV exposure
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110066194 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Japanese Journal of Applied Physics |
| Band | 45 |
| Seiten | 6654-57 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |