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Influence of exposure spectra on optical properties of alicyclic methacrylate copolymer waveguides fabricated by deep UV exposure

Ichihashi, Y. 1; Henzi, P. 1; Bruendel, M. 1; Rabus, D. G. 1; Mohr, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1143/JJAP.45.6654
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Zitationen: 4
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Zitationen: 2
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Zitationen: 2
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110066194
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in Japanese Journal of Applied Physics
Band 45
Seiten 6654-57
Nachgewiesen in Scopus
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