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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1143/JJAP.45.6654

Influence of exposure spectra on optical properties of alicyclic methacrylate copolymer waveguides fabricated by deep UV exposure

Ichihashi, Y.; Henzi, P.; Bruendel, M.; Rabus, D.G.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110066194
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in Japanese Journal of Applied Physics
Band 45
Seiten 6654-57
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