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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.apsusc.2006.05.084

Crystallite misorientation analysis in semiconductor wafers and ELO samples by rocking curve imaging

Mikulik, P.; Lübbert, D.; Pernot, P.; Helfen, L.; Baumbach, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110066938
HGF-Programm 43.01.05; LK 01
Erschienen in Applied Surface Science
Band 253
Seiten 188-93
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