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Crystallite misorientation analysis in semiconductor wafers and ELO samples by rocking curve imaging

Mikulik, P.; Lübbert, D. 1; Pernot, P. 1; Helfen, L. 1; Baumbach, T.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.apsusc.2006.05.084
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Zitationen: 11
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110066938
HGF-Programm 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit
Erschienen in Applied Surface Science
Band 253
Seiten 188-93
Nachgewiesen in Dimensions
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