Crystallite misorientation analysis in semiconductor wafers and ELO samples by rocking curve imaging
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110066938 |
| HGF-Programm | 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit |
| Erschienen in | Applied Surface Science |
| Band | 253 |
| Seiten | 188-93 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |