| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110067135 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control |
| Band | 54 |
| Seiten | 157-66 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Dimensions Scopus |