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Polymer waveguides from alicyclic methacrylate copolymer fabricated by deep-UV exposure

Ichihashi, Y.; Henzi, P.; Bruendel, M.; Mohr, J.; Rabus, D.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110067230
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01)
Erschienen in Optics Letters
Band 32
Seiten 379-81
Externe Relationen Volltext/Abstract
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