Polymer waveguides from alicyclic methacrylate copolymer fabricated by deep-UV exposure

Ichihashi, Y.; Henzi, P.; Bruendel, M.; Mohr, J.; Rabus, D. G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 110067230
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in	Optics Letters
Band	32
Seiten	379-81
Externe Relationen	Abstract/Volltext