High purity Si-C-N thin films with tailored composition on the tie line SiC-Si₃N₄
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110067695 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erschienen in | Diamond and Related Materials |
| Band | 16 |
| Seiten | 1273-77 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |