Structure quality in deep X-ray lithography applying commercial polyimide-based masks
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110067899 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (POF I, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 13 |
| Seiten | 349-53 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |