High aspect ratio vertical cantilever RF-MEMS variable capacitor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110068159 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | IEEE Microwave and Wireless Components Letters |
| Band | 17 |
| Seiten | 127-29 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |