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High aspect ratio vertical cantilever RF-MEMS variable capacitor

Klymyshyn, D. M.; Haluzan, D. T.; Börner, M.; Achenbach, S.; Mohr, J.; Mappes, T.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/LMWC.2006.890338
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Zitationen: 15
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110068159
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in IEEE Microwave and Wireless Components Letters
Band 17
Seiten 127-29
Nachgewiesen in Dimensions
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