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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/LMWC.2006.890338
Web of Science
Zitationen: 13

High aspect ratio vertical cantilever RF-MEMS variable capacitor

Klymyshyn, D.M.; Haluzan, D.T.; Börner, M.; Achenbach, S.; Mohr, J.; Mappes, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110068159
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01)
Erschienen in IEEE Microwave and Wireless Components Letters
Band 17
Seiten 127-29
Nachgewiesen in Web of Science
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